一种新型微透镜阵列的成象式投影光刻系统的研究

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxiang0122
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从理论和实验两方面入手,系统地研究了微透镜阵列的形成原理和制作工艺,分析了微透镜阵列的面形结构,得到了联系微透镜阵列矢高与制作工艺参量的经验公式。并且将四片微透镜阵列耦合,形成一个深紫外光刻的1:1成像的多孔径微小光刻系统。从几何学理论出发,分析了这个光刻系统综合成象的特点,讨论了这种光刻系统的光学性能,并给出了实验测量方法。
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