PT／PZT／PT薄膜微力传感器

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 4次 | 上传用户：dxlwwh

【摘要】

：

提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明,在PZT薄膜退火温度同为600℃时,PZT和PT/PZT/PT薄膜均为完整的钙钛矿结构,而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取

【作者】

：

崔岩孟汉柏王兢石二磊王立鼎

【机构】

：

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,大连理工大学电子与信息工程学院

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2007年09期

【关键词】

：

PT/PZT/PT薄膜微悬臂梁微力传感器 PT/PZT/PT thin film microcantilever microforce sensor

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目（No.90207003,90607002）

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