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一种确定基片架最佳沉积区域的试验方法
一种确定基片架最佳沉积区域的试验方法
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zona418
【摘 要】
:
分析了确定基片架上最佳沉积区域的重要性,采用一种简单可行的试验方法,对ZZ-SX500型光学镀膜机的拱型基片架进行了研究,给出了试验方法的理论依据及实际应用结果,并对试验中
【作 者】
:
常天海
【机 构】
:
华南理工大学电信学院
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
基片架
最佳沉积区域
光学镀膜机
光学多层膜
光电极值法
substrate support optimum deposited area experiment
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分析了确定基片架上最佳沉积区域的重要性,采用一种简单可行的试验方法,对ZZ-SX500型光学镀膜机的拱型基片架进行了研究,给出了试验方法的理论依据及实际应用结果,并对试验中的关键仪器即MKG-5型光电极值膜厚监控仪进行了可靠性评价试验.
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