柔性压力传感器的制作及其性能研究

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近期,柔性压力传感器因其柔软、高弹性、可拉伸等优点成为许多柔性电子器件的重要组成部分,广泛用于可穿戴电子、环境监测、人机接口等领域。在这篇文章中,介绍了一种可靠、廉价制作高灵敏度柔性压力传感器的工艺。首先,采用多元醇法制备银纳米线(AgNWs)并作为传感器电极材料,同时与实验室自制银纳米颗粒(AgNPs)、商业化碳纳米管(CNTs)分别为电极材料传感器的性能对比;聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)和聚乙烯(PE)薄膜分别为介电层,以三明治的形式将介电层夹于两面对面的电极间,便得到柔性压力传感器,并研究电极材料及介电层对传感器性能的影响,结果表明:以高介电常数PI为介电层与表面不平坦的AgNWs/PDMS为电极封装的传感器灵敏度高、响应快、稳定性好。经应用案例分析,此传感器可检测微小压力的变化,有望用于电子皮肤领域。
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