论文部分内容阅读
提出了一种用于光滑表面粗糙度测量的方法,利用两个标准参考面和两个偏振片实现对表面粗糙度的测量,通过两1/4波片克服光路可逆性的缺陷,给出了测量系统光路图,导出了该方法工作原理的数学表达式,并对该方法产生的测量不确定度进行了理论计算与计算机仿真,最后通过对一标准粗糙度样块进行测量,证明了该方案的可行性。结果表明实测值与样块厂家提供的标称值相符,并可实现0.2nm的测量精度。