碲锌镉晶体表面磨抛方法研究

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碲锌镉是一种性能优异的 Ⅱ-Ⅵ 族化合物半导体材料。随锌含量不同 ,其禁带宽度可连续调节 ,是用于制备红外探测器的碲镉汞材料的优良衬底。介绍了多种碲锌镉晶体的磨抛方法 ,包括手工研磨 、机械抛光 、化学抛光和机械化学抛光。借助多种表征技术和改良手段 ,碲锌镉晶体的表面加工取得了显著 进步。
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