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<正> 日本大阪大学科学家竹田精治教授近日开发成功纳米级加工技术。这种技术可用于制造超小型半导体元件。据日本报纸报道,这种技术使用电子束照射硅晶体的表面后,硅原子会吸收电子束的能量而发生运动,从而使硅晶体表面形成凸凹,其直径(相连的峰与峰或者谷与谷之间的距离)比流感病毒
日本科学家开发成功纳米级加工技术
【摘 要】
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<正> 日本大阪大学科学家竹田精治教授近日开发成功纳米级加工技术。这种技术可用于制造超小型半导体元件。据日本报纸报道,这种技术使用电子束照射硅晶体的表面后,硅原子会
【出 处】
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物理通报
【发表日期】
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2001年9期
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