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本文介绍了影响半导体异质外延晶片质量的主要原因，检测方法，几个典型测试结果。最后给出了几个外延晶片材料质量评估的参照标准。
Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体外延晶片的质量评估
【摘 要】
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本文介绍了影响半导体异质外延晶片质量的主要原因，检测方法，几个典型测试结果。最后给出了几个外延晶片材料质量评估的参照标准。
【机 构】
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武汉邮电科学研究院
【出 处】
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光通信研究
【发表日期】
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1998年3期
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