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本文将圆片键合的各种方法分为三类：无中介层键合、有中介层键合、低温键合。并对其优缺点及各种改进方法进行了分析，为圆片级键合的应用和设计提供了可靠思路。
圆片键合方法研究进展
【摘 要】
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本文将圆片键合的各种方法分为三类：无中介层键合、有中介层键合、低温键合。并对其优缺点及各种改进方法进行了分析，为圆片级键合的应用和设计提供了可靠思路。
【机 构】
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武汉船舶职业技术学院
【出 处】
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中小企业管理与科技(上旬刊)
【发表日期】
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2013年22期
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