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本文介绍了对真空蒸发制备的多组ZnxMg1-xS多晶薄膜的研究，用X射线能量色散谱仪（EDS）测定几组ZnxMg1-xS薄膜样品的成分后，由原子力显微镜（AFM）和X射线衍射（XRD）测试结果表明：薄膜晶体生长形貌和结晶性良好，为闪锌矿结构；对ZnxMg1-xS薄膜的紫外吸收分析表明，薄膜在345nm-275nm处形成陡峭的吸收边，在波长小于275nm的紫外区有强烈的吸收；光致发光谱中发光中心波长在可见光区紫光范围约为401nm～395nm之间。同时随着Mg含量的增加。样品的（111）峰位向大角度方向移动