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本文介绍了对真空蒸发制备的多组ZnxMg1-xS多晶薄膜的研究,用X射线能量色散谱仪(EDS)测定几组ZnxMg1-xS薄膜样品的成分后,由原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)测试结果表明:薄膜晶体生长形貌和结晶性良好,为闪锌矿结构;对ZnxMg1-xS薄膜的紫外吸收分析表明,薄膜在345nm-275nm处形成陡峭的吸收边,在波长小于275nm的紫外区有强烈的吸收;光致发光谱中发光中心波长在可见光区紫光范围约为401nm~395nm之间。同时随着Mg含量的增加。样品的(111)峰位向大角度方向移动