论文部分内容阅读
石墨烯因其优异的电学性质,使它成为最有可能替代硅的微电子材料。但是本征石墨烯没有带隙,因此如何在石墨烯中引入带隙是石墨烯走入实际应用的关键前提和当前研究热点。主要介绍了近些年出现的石墨烯加工技术,包括能量束加工技术、热驱动纳米粒子切割方法、基于扫描探针显微镜的电场加工技术、光催化剪裁技术、基于原子力显微镜的机械加工技术及分子自组装技术,并分析了不同加工技术的优缺点,并对未来石墨烯加工技术的发展进行了展望。