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期刊论文
ITO陶瓷靶材的制备方法及研究现状
ITO陶瓷靶材的制备方法及研究现状
来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windy_yuan
【摘 要】
:
介绍了ITO靶材的各种性能及应用,综述了目前常用的几种靶材成形方法和烧结工艺以及他们的研究现状,并对ITO靶材今后的发展趋势进行了展望。
【作 者】
:
张明杰
陈敬超
彭平
于杰
吴涛
【机 构】
:
昆明理工大学稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室云南省新材料制备与加工重点实验室;
【出 处】
:
热加工工艺
【发表日期】
:
2015年12期
【关键词】
:
ITO靶材
成形方法
烧结工艺
【基金项目】
:
新国家自然科学联合基金资助项目(u0837601);新国家基金资助项目(50874054);云南省创新团队(2009CI003);云南省自然科学基金资助项目(2008CD087)
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介绍了ITO靶材的各种性能及应用,综述了目前常用的几种靶材成形方法和烧结工艺以及他们的研究现状,并对ITO靶材今后的发展趋势进行了展望。
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