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本文分析了岛津SSX-550扫描电子显微镜真空系统的基本工作原理,介绍了一些典型故障的现象,包括由皮拉尼计和工控机底板引起的真空度检测故障。同时提供了这些故障的处理方法,排除了故障,总结了引发故障的原因。这些案例为大型实验设备的维修提供了宝贵的经验,同时也从另一个方面证明了实验室大型仪器的科学管理的必要性。