氧化钒热敏薄膜非致冷红外探测器的等效模型

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建立了氧化钒热敏薄膜微测辐射热计的PSPICE模型,结合一个具体的CMOS读出电路给出探测器的等效电路模型,分析了探测器的电学和噪声特性,根据等效模型基于微测辐射热计电阻Ro和读出电路MOS沟道宽度2个设计参数对噪声等效温差(NETD)进行了优化,优化数据表明:参数Ro取值为2~11kΩ,W取值为0、1~1.0μm时,得到的NETD值为0、1334~0.1885K。
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