【摘 要】
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为了实现敲击模式的扫描近场光学显微镜，采用以石英音叉为灵敏探测器件，将光纤探针垂直音叉侧臂粘接，使探针在垂直样品的方向上振动，以“敲击”方式探测样品表面的信息，实现近场范
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为了实现敲击模式的扫描近场光学显微镜，采用以石英音叉为灵敏探测器件，将光纤探针垂直音叉侧臂粘接，使探针在垂直样品的方向上振动，以“敲击”方式探测样品表面的信息，实现近场范围的高度控制。仪器结构紧凑，操作方便，灵敏度高，可用于液体环境下的样品探测，在对样品形貌进行探测的同时可实现对光信号的调制。将这种探测模式应用于实验，获得2 400线/mm光栅、光盘母盘和生物细胞的形貌图像。实验证明：这种探测方式分辨率优于200 nm，适用于不同硬度的样品，可以作为材料学、生物学等领域的有力工具。
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