【摘 要】
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用电泳沉积技术制备了约70μm的PZT[Pb(Zr0.52Ti0.48)O3]厚膜,分析了zeta电位、粘度及电泳沉积速率对PZT悬浮液的稳定性和电泳沉积质量的影响,并研究了烧结后PZT厚膜的结构和
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用电泳沉积技术制备了约70μm的PZT[Pb(Zr0.52Ti0.48)O3]厚膜,分析了zeta电位、粘度及电泳沉积速率对PZT悬浮液的稳定性和电泳沉积质量的影响,并研究了烧结后PZT厚膜的结构和电学性能.实验结果表明:在pH=5.5～6.5时,悬浮液的zeta电位高达50 mV以上,此时悬浮液分散性好、粘度低,有最佳的沉积速率(≈31 mg·cm-2·min-1)和高达51%的相对沉积密度.在此条件下制备出的PZT膜厚均匀一致,无裂纹,经1 000℃保持30 min烧结后,在1 k
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