【摘 要】
：
基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设
【机 构】
：
上海交通大学微米/纳米加工技术重点实验室,上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海交通大学机械与动力工程学院
论文部分内容阅读
基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭建了标定系统,对所制备的MEMS薄膜热流计进行性能测试和标定。实验结果表明:薄膜热流计的电压输出响应曲线的变化趋势和仿真结果一致,此外,薄膜热流计的输出电压和热流密度呈良好的线性关系。
其他文献
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
<正> 中日两国有悠久的联系。据《汉书》、《魏书》记载,早在二千年前两国已经通使往来,到了盛唐时期,这种联系更加频繁。两国互相学习,互相影响,人民之间的友谊日益密切,曾
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
李某,男,38岁,干部.1999年6月12日晚8:30入院.病史:当晚在住处不慎被电击伤,当即神志昏迷,不省人事,约40分钟后被同事发现,急送入医院,来院时见呼吸停止,ECG示室颤.立即施行
这是一种最小生成树算法,基于分治理念,采用破圈法。依据权值中位数,将图中的边一分为二,以降低边与边之间的耦合。破圈功能通过边合并操作实现,一次递归删除一些边,使得分解
运动神经元病属于慢性难治性疾病之一,韩碧英教授对运动神经元病的治疗颇有经验,有其独到之处,韩教授认为运动神经元病应当从肺、脾、胃、肾论治,运用盘龙灸法联合针刺疗法,
油茶是一种重要的油料植物。本文主要从油茶的生物学特性和茶油的营养成分、用途及综合利用等角度分析了油茶生产的经济效益和生态效益。通过油茶和油菜、花生、大豆等油料作
档案出版社成立于1982年1月,至今已经整整10年了.10年来,在国家档案局的直接领导下,在各有关部门、广大档案工作者、作者、读者的关怀和支持下,全社同志认真贯彻执行了党和
以无籽刺梨果实为试材,分别贮藏在(4±0.5)℃、(8±0.5)℃、(12±0.5)℃和室温条件下,研究不同贮藏温度对无籽刺梨保鲜效果的影响。结果表明:低温条件能显著降低无籽刺梨失重
语言是思想政治教育的主要载体。在新时代的全新视角和研究范式背景下,审视大学生思想政治教育语言创新的现实逻辑、价值生成与实现理路等三维向度,以增强思想政治教育的时代