用于测量低密度等离子体的三厘米微波干涉仪

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本文叙述了一种以条纹干涉仪为原理的测量低密度等离子体的微波干涉仪,用它测量了低气压放电产生的等离子体电子密度的时间变化。实验结果表明,此干涉仪能分辨0.5°的相移,相当于等离子体的线度为10厘米时可测平均电子密度最低为10~9/厘米~3。 In this paper, we describe a microwave interferometer for measuring low density plasma based on the principle of fringe interferometer, and measure the time variation of plasma electron density generated by low pressure discharge. The experimental results show that this interferometer can distinguish the phase shift of 0.5 °, which is equivalent to the lowest measurable average electron density of 10 ~ 9 / cm ~ 3 when the plasma linearity is 10 cm.
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