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研究了气体组分和峰化电容对紫外光预电离脉冲HF激光器性能的影响.实验发现最佳气体混合比为SF6/C2H6=20∶ 1,峰化电容和主放电电容的最佳比为Cp/Cs=0.3,在最佳气体混合比时,最大激光脉冲峰值功率和对应的总气压随充电电压的提高而增大.同时得到了E/P值和激光能量的关系.整个器件的最大激光输出为400 mJ,脉冲峰值功率为1.5 MW,最大电光转换效率约为2.2%.