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自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用
自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangxu0202
【摘 要】
:
对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势.
【机 构】
:
科电工程有限公司成员公司--MACROTRON科学工程公司,香港(鱼则)鱼英涌皇道979号太古坊常盛大厦北翼9字楼
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
全旋倾斜X射线技术
X射线透视检测技术
三维体层X射线摄像技术
机算机处理层析X射线成像
通用分层X射线成像
数字层析合成成像技术
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对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势.
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