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用激光化学气相沉积法制备出平均粒径为10nm左右的α-Si3N4纳米粒子,红外吸收和喇曼光谱研究表明a-Si3N4纳米粒子中存在Si-N,Si-H,N-H,Si-O-Si键,分析了a-SiN4纳米粒子在不同的温度和气氛退火后的变化情况,并对a-Si3O4纳米粒子胶体溶液的紫外-可见吸收进行了测试分析。