【摘 要】
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通过射频磁控溅射技术,成功制备了具有金属-半导体-金属(MSM)结构的ZnO紫外光电探测器.研究了外加偏压对探测器响应度和截止波长的影响.随着偏压的增大,器件的响应度逐渐增加
【机 构】
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哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心,黑龙江哈尔滨150001;长春理工大学材料科学与工程学院,吉林长春130022
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通过射频磁控溅射技术,成功制备了具有金属-半导体-金属(MSM)结构的ZnO紫外光电探测器.研究了外加偏压对探测器响应度和截止波长的影响.随着偏压的增大,器件的响应度逐渐增加并且趋于饱和,探测器的响应截止波长红移了12 nm.这是电场引起的耗尽层的展宽以及带隙倾斜造成的.提出了一种利用外加偏压控制探测器截止波长的有效方法,该方法对紫外光电探测器的进一步研究和应用具有重要意义.
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