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采用衍射图样-自相关测定技术测量缝宽尺寸是一个极为有效的测量方法，其测量范围为2～50μm。本文提出的新的图样处理方法，使自相关技术能应用于非接触，实时的在线微小尺寸的测量。
激光衍射微小尺寸自相关测定技术
【摘 要】
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采用衍射图样-自相关测定技术测量缝宽尺寸是一个极为有效的测量方法，其测量范围为2～50μm。本文提出的新的图样处理方法，使自相关技术能应用于非接触，实时的在线微小尺寸的测量
【机 构】
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上海工业大学
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1986年1期
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