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期刊论文
激光衍射微小尺寸自相关测定技术
激光衍射微小尺寸自相关测定技术
来源 :激光杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xqd2cd
【摘 要】
:
采用衍射图样-自相关测定技术测量缝宽尺寸是一个极为有效的测量方法,其测量范围为2~50μm。本文提出的新的图样处理方法,使自相关技术能应用于非接触,实时的在线微小尺寸的测量
【作 者】
:
顾力行
邬学康
杨质苍
【机 构】
:
上海工业大学
【出 处】
:
激光杂志
【发表日期】
:
1986年1期
【关键词】
:
微小尺寸
测定技术
自相关
激光衍射
测量方法
衍射图样
技术测量
测量范围
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采用衍射图样-自相关测定技术测量缝宽尺寸是一个极为有效的测量方法,其测量范围为2~50μm。本文提出的新的图样处理方法,使自相关技术能应用于非接触,实时的在线微小尺寸的测量。
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