用金属-有机物化学气相沉积工艺制备HgCdTe/CdTe多层结构室温中波段双色红外探测器

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介绍了具有多层非掺杂几型Hg1-xCdxTe异质结构的、3~5μm波段的双色光导探测器,该探测器可工作在室温条件下。用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺生长了这些异质结构,它们由CdTe层隔离的3或4层Hg1-xCdxTe层构成。在300K温度下,接近理论值的少数载流子寿命验证了金属有机物化学气相沉积膜的质量,其值取决于x值,范围在0.8~4.7μs之间。Hg1-xCdxTe作为探测器或滤光膜,CdTe层作为绝缘层,实验中通过正面和反面照射,测试光电导的光谱响应差异,验证了利用带隙不同的两层Hg1-xCdxTe的指数吸收层来形成一个吸收带的概念。对双色峰分别为3.2/3.8μm和3.7/4.6μm的两组多层异质结构进行了研究。 A two-color photoconductive detector with 3 ~ 5μm band of Hg1-xCdxTe heterostructures with multi-layers is introduced. The detector can work at room temperature. These heterostructures were grown by a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) process, consisting of three or four Hg1-xCdxTe layers separated by CdTe layers. At 300K, the minority carrier lifetime close to the theoretical value verifies the mass of the metalorganic chemical vapor deposited film, which value depends on the value of x in the range of 0.8 to 4.7 μs. Hg1-xCdxTe as a detector or filter, CdTe layer as an insulating layer, the experiment by front and back irradiation, the photodiode to measure the spectral response differences verify the use of different bandgap Hg1-xCdxTe two layers of exponential absorption The concept of forming an absorption band. Two groups of multilayer heterostructures with bicolor peaks of 3.2 / 3.8μm and 3.7 / 4.6μm were studied.
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