【摘 要】
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阻抗匹配是微波系统的必要环节。传统的手工匹配方式限制了微波系统在很多领域的应用。针对微波等离子体设备,基于ARM CortexM3的LM3S8962处理器,可构建一种微波自动阻抗匹配
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阻抗匹配是微波系统的必要环节。传统的手工匹配方式限制了微波系统在很多领域的应用。针对微波等离子体设备,基于ARM CortexM3的LM3S8962处理器,可构建一种微波自动阻抗匹配系统。系统硬件包括信号检测、电机驱动等电路,软件方面进行嵌入式应用开发、自动阻抗匹配算法研究和编程等。测试结果表明,该系统实现首次自动阻抗匹配的时间低于1 min,跟踪负载动态变化再次实现匹配的时间低于10 s,匹配时反射与入射功率之比低于10%。该系统有利于促进微波技术的应用。
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