AlxGa1—xAS／GaAs调制掺杂结构的MBE优化工艺生长

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaolch005

【摘要】

：

通过对MBE工艺中影响GaAs和AlxGaAs材料质量的生长关键工艺实验研究,优化了MBE生长AlxGa1-xAs/GaAs调制掺杂结构工艺.用GEN-ⅡMBE设备生长AlxGa1-xAs/GaAs调制掺杂结构材料,

【作者】

：

谢自力邱凯尹志军方晓华陈建炉蒋朝辉

【机构】

：

南京电子器件研究所

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2002年8期

【关键词】

：

分子束外延异质结量子阱调制掺杂二维电子气 MBE工艺铝镓砷三元材料 MBE heterostructure quantum well modulate

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通过对MBE工艺中影响GaAs和AlxGaAs材料质量的生长关键工艺实验研究,优化了MBE生长AlxGa1-xAs/GaAs调制掺杂结构工艺.用GEN-ⅡMBE设备生长AlxGa1-xAs/GaAs调制掺杂结构材料,得到了高质量的AlxGa1-xAs/GaAs调制掺杂结构材料.用范德堡法研究材料特性,得到材料参数的典型值:二维电子气浓度在室温时为5.6×1011 cm-2,电子迁移率为6000 cm2/V@s;在77 K低温时浓度达3.5×1011cm-2,电子迁移率为1.43

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