基于非球面反射镜的高分辨KB显微成像系统设计

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为了突破球面反射镜面形对传统Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜空间分辨率的限制,建立了一种非球面KB显微成像系统的光学设计方法。利用椭圆柱面反射镜代替球面镜,通过几何关系计算出反射镜参数的数学表达式,结合主要光学结构参数对空间分辨率影响的定量分析,提出了一组适用我国现阶段强激光装置的非球面KB显微镜的结构参数,并在实验室内开展背光成像实验。实验结果表明,在中心视场,其空间分辨率优于2μm,在200μm的视场范围内,空间分辨率优于5μm,集光立体角可达1.3×10-6sr。非球面KB显
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