【摘 要】
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为了实现机械元件的高精密驱动,设计和研究了一种应用自然界中尺蠖原理的压电驱动直线电动机,完成压电直线电动机的样机制作并对其进行了试验测试.试验结果表明,制作和测试的
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【基金项目】
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国家科技重大专项项目(2009ZX02205)
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为了实现机械元件的高精密驱动,设计和研究了一种应用自然界中尺蠖原理的压电驱动直线电动机,完成压电直线电动机的样机制作并对其进行了试验测试.试验结果表明,制作和测试的尺蠖型压电直线电动机工作行程20 mm,最大驱动力38 N,在驱动电压200 V时,具有最大的运动步长35.15 μm,步长稳定性误差小于3％,在驱动电压为10 V时,实现最小的运动步长20 nm.电机在无负载状态,驱动频率30 Hz,驱动电压200 V时达到的最大驱动速度484.2 μm/s.该电机具备良好的工作性能,在精密驱动领域具有广泛的
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