新式微型化学传感器

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今天,测定化学量的微型传感器的进展应归功于微型平版印刷技术。采用这一技术,可制出多种类型的固态化学敏感元件。这一技术亦可用于制造微处理器和其他集成电路芯片。化学敏场效应管化学敏场效应管(CHEMFET),或离子敏场效应管(ISFET)的结构如图1所示。电压施加在源极、漏极两端点上,电源的大小由栅极调节。在通常的场效应管 Today, advances in the determination of chemical quantities of micro-sensors are due to micro-lithography. Using this technique, many types of solid-state chemical sensing elements can be made. This technology can also be used to make microprocessors and other integrated circuit chips. Chemically sensitive field effect transistors (CHEMFET), or ion sensitive field effect transistor (ISFET) structure shown in Figure 1. The voltage is applied to the source and drain terminals, and the size of the power supply is regulated by the gate. In the usual FET
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