柔性高灵敏单壁碳纳米管气体传感器研究

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fuchengjun007
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在柔性聚对二甲苯C基底上制作了基于单壁碳纳米管的小型化、高灵敏、反应快速的气体传感器。使用介质电泳集成碳管束,并利用单链脱氧核糖核酸修饰增强器件灵敏度。当传感器暴露在甲醇蒸气中时,会出现明显可重复的反应,它可以检测含量低至4.3×10-6的甲醇,并且在相当宽的体积分数范围有清晰的分辨能力。对于4.3×10-6的含量,未修饰的传感器对应电阻变化率是4.8%;经过脱氧核糖核酸修饰,电阻变化率增加到了12.3%。此外,该传感器还显示了很快的响应速度和很好的测试复验性。研究表明:这种柔性气体传感器在未来环境监测应用中有很好的前景。 A miniaturized, highly sensitive and rapid reaction gas sensor based on single-walled carbon nanotubes was fabricated on flexible Parylene C substrate. Carbon nanotube bundles were integrated using media electrophoresis and the device sensitivity was enhanced using single-stranded DNA modification. When the sensor is exposed to methanol vapor, there is a clear and repeatable reaction that can detect methanol down to 4.3x10-6 with clear resolving power over a fairly wide range of volume fractions. For the content of 4.3 × 10-6, the unmodified sensor response rate was 4.8%; after DNA modification, the rate of change of resistance increased to 12.3%. In addition, the sensor also shows very fast response and good test retest. The research shows that this kind of flexible gas sensor has a good prospect in the future environmental monitoring application.
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