半导体厂房空调、净化系统设计研究

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近几年,半导体领域在我国得到了十分迅速地进步,使得洁净厂房也有所增多,其过多的建筑能耗已经变成了国际性节能领域中十分关键的一个因素.尤其是对24h都在运作的工厂而言,电能耗损过多,减少其能耗十分关键.本文依据洁净室中能耗较大的各类因素,对半导体厂房中各类空调、净化系统实施了设计分析与研究,给有关领域给予更多的参照.
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