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由于硅微型加速度计高动态性能和特殊的制造工艺，在设计阶段必须对其进行详细的结构动态分析。本文建立了微加速度计三维有限元模型，分析计算了其基本模态，研究了其瞬间响应和响应谱等动态特性。
硅微型加速度计有限元模型与动态分析研究
【摘 要】
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由于硅微型加速度计高动态性能和特殊的制造工艺，在设计阶段必须对其进行详细的结构动态分析。本文建立了微加速度计三维有限元模型，分析计算了其基本模态，研究了其瞬间响应和响
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
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东南大学学报
【发表日期】
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1999年5期
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