化学机械抛光作用与单晶基片超光滑表面的获取

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zy3201869
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单晶基片的表面光洁度指标是影响后续薄膜生长质量的重要因素.本文通过对比实验的方法,就采用CMP(chemical mechanical polish)工艺获取超光滑单晶基片做了深入的观察研究,并通过AFM(atomicforce microscope)的最终检测结果给出具有说服力的结论.
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