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用5晶(7晶)X射线衍线仪研究半导体薄膜材料
用5晶(7晶)X射线衍线仪研究半导体薄膜材料
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xjqlhh0621
【摘 要】
:
5晶(7晶)X射线衍射仪非常适合于高级半导体单昌,特别是Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ=Ⅵ经合物半导体及其异质体外延层的特性分析。本文将简单地介绍5晶(7晶)X射线衍射仪,以及在半导体薄膜研究中的结果。
【作 者】
:
罗江财
杨晓波
【机 构】
:
重庆光电技术研究所
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
半导体薄膜
5晶X射线衍射
回摆曲线
s:Semiconductor Film Materials
5-crystal X-ray Diffraction
R
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5晶(7晶)X射线衍射仪非常适合于高级半导体单昌,特别是Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ=Ⅵ经合物半导体及其异质体外延层的特性分析。本文将简单地介绍5晶(7晶)X射线衍射仪,以及在半导体薄膜研究中的结果。
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