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５晶（７晶）Ｘ射线衍射仪非常适合于高级半导体单昌，特别是Ⅲ－Ⅴ族和Ⅱ＝Ⅵ经合物半导体及其异质体外延层的特性分析。本文将简单地介绍５晶（７晶）Ｘ射线衍射仪，以及在半导体薄膜研究中的结果。
用5晶（7晶）X射线衍线仪研究半导体薄膜材料
【摘 要】
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５晶（７晶）Ｘ射线衍射仪非常适合于高级半导体单昌，特别是Ⅲ－Ⅴ族和Ⅱ＝Ⅵ经合物半导体及其异质体外延层的特性分析。本文将简单地介绍５晶（７晶）Ｘ射线衍射仪，以及在半导体薄膜研究中的结果。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1996年4期
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