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超纯水主要用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩11模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。本文将介绍超纯水制备的基本工艺，将特别分析水处理的不同阶段所运用的管道材质，并根据实际情况对超纯水的管道安装技术作了详细阐述。