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全息光栅拍频精密测量仪是集稳频激光器、全息光栅、光拍频技术与计算机技术于一体的一种新型精密测量仪器。它具有双频激光干涉测量和光栅测量的优点，本文阐述了该仪器的工作原理、主要结构及误差分析，并给出了测试对比结果。
应用全息光栅拍频的精密测量仪
【摘 要】
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全息光栅拍频精密测量仪是集稳频激光器、全息光栅、光拍频技术与计算机技术于一体的一种新型精密测量仪器。它具有双频激光干涉测量和光栅测量的优点，本文阐述了该仪器的工作
【机 构】
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西安理工大学精密仪器工程系
【出 处】
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西安理工大学学报
【发表日期】
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1995年1期
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