【摘 要】
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A novel silicon-on-insulator (SOI) high-voltage device of super-junction (S J) lateral-double-diffused metal-oxide-semiconductor transistors (LDMOSTs) with T-du
【机 构】
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College of Communication Engineering, Chengdu University of Information Technology, Chengdu 610225“,
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A novel silicon-on-insulator (SOI) high-voltage device of super-junction (S J) lateral-double-diffused metal-oxide-semiconductor transistors (LDMOSTs) with T-dual dielectric buried layers (T-DBLs) is presented.The T-DBLs are formed by the first T-shaped dielectric layer and the second dielectric layer.A lot of holes are accumulated on the top interface of the second dielectric layer,which compensates for the charge imbalance of the surface N and P pillars,thus the substrate-assisted depletion (SAD) effect is eliminated in the new device.The electric field of the second dielectric buried layer,EI2,is enhanced by the interface charges,and the breakdown voltage Vbreakdown is increased.EI2 =515 V/μm is obtained in the T-DBL SOI SJ.The Vbreakdown of the new device is increased from 124 V of the conventional SOI SJ to 302 V with a 15μm length drift region.The specific on-resistance (Ron,sp) of the T-DBL SOI SJ is only 0.00865 Ω.cm2 and the FOM (FOM =V2breakdown/Ron,sp) is 10.54 MW/cm2.
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