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光学波面误差的分振幅干涉法检测技术目前十分活跃。本文简明地叙述了分振幅干涉法测量波面误差的检测技术现状及今后的发展趋势。
分振幅干涉法测量波面误差的检测技术现状及发展趋势
【摘 要】
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光学波面误差的分振幅干涉法检测技术目前十分活跃。本文简明地叙述了分振幅干涉法测量波面误差的检测技术现状及今后的发展趋势。
【机 构】
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西安应用光学研究所,西安应用光学研究所
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1991年3期
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