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三菱电机最近开发出一款输出功率为412W的固体绿色激光器。针对该工序用于生产液晶面板和有机EL面板用的低温多晶硅，通过提高激光器的输出功率，可将退火工序所需的时间缩短为此前的1／2。这样一来，既可提高退火装置的生产能力，又能降低提高生产能力所需的设备投资费用（每台售价不足10亿日元，约合人民币7700万元）。