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期刊论文
微小流量传感器的数值模拟
微小流量传感器的数值模拟
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xxj3918
【摘 要】
:
给出了微小流量传感器的数值模型,并进行了数值模拟。数值模型表明流体前端与末端两端点间距是提高传感器灵敏度的关键因素,数值模拟结果为微小流量传感器设计提供了两端点最
【作 者】
:
沈克强
童勤义
【机 构】
:
东南大学微电子中心,东南大学微电子中心南京210018,南京210018
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
传感器
数值模型
流量测量
Sensor
Numerical Model
Thermal Boundary Layer
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给出了微小流量传感器的数值模型,并进行了数值模拟。数值模型表明流体前端与末端两端点间距是提高传感器灵敏度的关键因素,数值模拟结果为微小流量传感器设计提供了两端点最佳间距。
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