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美国加州SCOTTS VALLEYT和奥地利VILLACH（维拉赫），2005年7月11日，经过量产验证的热处理系统以有原子膜层沉积（ALD）的全球供应商Aviza Technology公司，和半导体业界中单晶圆湿式处理技术的市场领先者及首要的技术创新者（瑟思）集团于今日联合宣布，
Aviza 科技公司与sez 集团达成联合开发协议合作将重点集中于ALD膜层的晶圆背面和倒角处的去除解决方案
【摘 要】
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美国加州SCOTTS VALLEYT和奥地利VILLACH（维拉赫），2005年7月11日，经过量产验证的热处理系统以有原子膜层沉积（ALD）的全球供应商Aviza Technology公司，和半导体业界中单晶圆湿式处理
【出 处】
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电子与电脑
【发表日期】
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2005年8期
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