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能在高温下测量的ＳＯＩ型压力传感器长谷裕二等１．开发过程当前半导体压力传感器大多用于油压、气压等的压力测量，它的特点是灵敏度高、精度高以及应用半导体制造工艺能够大量地低成本地生产，因此广泛用于汽车发动机控制、空调及吸尘器等家用电器以及医疗设备等各个领...
能在高温下测量的SOI型压力传感器
【摘 要】
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能在高温下测量的ＳＯＩ型压力传感器长谷裕二等１．开发过程当前半导体压力传感器大多用于油压、气压等的压力测量，它的特点是灵敏度高、精度高以及应用半导体制造工艺能够大量地低成本
【出 处】
：
现代计量测试
【发表日期】
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1994年2期
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