【摘 要】
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本文介绍我所研制成功的一台用于分子束外延(MBE)的反射式高能电子衍射仪的工作原理、技术指标、特点和调试结果。
This article introduces the working principle, techni
【机 构】
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长沙半导体工艺设备研究所,长沙半导体工艺设备研究所
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本文介绍我所研制成功的一台用于分子束外延(MBE)的反射式高能电子衍射仪的工作原理、技术指标、特点和调试结果。
This article introduces the working principle, technical specifications, characteristics and debugging results of a reflective high energy electron diffractometer developed by our institute for molecular beam epitaxy (MBE).
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