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空间多普勒和后向散射激光雷达的应用
空间多普勒和后向散射激光雷达的应用
来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:g19801218
【摘 要】
:
<正> 美国国家标准技术研究所和哈佛大学正在研究一种新的微细刻蚀方法,即用粒子束代替光束.热心于搞光刻的人也很高兴的知道这种方法需要用光代替光.国家标准技术研究所的物
【作 者】
:
吴桂英
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
空间多普勒
后向散射雷达
激光雷达
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<正> 美国国家标准技术研究所和哈佛大学正在研究一种新的微细刻蚀方法,即用粒子束代替光束.热心于搞光刻的人也很高兴的知道这种方法需要用光代替光.国家标准技术研究所的物理学家John Gillaspy说:“这种刻蚀方法使你要重新评价你现在遇到的挑战.”
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