【摘 要】
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尽管基于原子力显微镜（Atom force microscopy,AFM）的纳米操作在过去10年间取得了极大进展,但依然有两个问题没有得到很好解决：探针的精确定位和稳定性操作.由于压电陶瓷驱动器
【机 构】
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中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,沈阳建筑大学信息与控制工程学院,千叶工业大学先进机器人系千叶275-001日本
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尽管基于原子力显微镜（Atom force microscopy,AFM）的纳米操作在过去10年间取得了极大进展,但依然有两个问题没有得到很好解决：探针的精确定位和稳定性操作.由于压电陶瓷驱动器非线性和温漂的影响,使得探针相对于被操作物体的定位极其困难,从而造成纳米操作任务失败;同时,因为探针仅能对被操作物体施加点式作用力,在操作中经常出现探针滑过被操作物体,或者引起被操作物体的转动、形变等非理想结果,阻碍纳米操作的深入发展.针对上述问题,提出基于概率的虚拟夹具纳米操作方法,其核心思想是在基于路标观测的探
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