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文章采用随机前沿分析方法,检验FDI对中国装备制造业的技术效率溢出和不同区间下技术无效率参数的边际效益。研究发现:FDI技术效率溢出提高了装备制造业整体的技术效率,对装备制造企业存在正向的溢出效应;产业集聚对装备制造业技术效率溢出有显著的促进作用,即使改变所有权性质,产业集聚仍然对技术溢出有促进作用,但显著性降低;行业规模扩大和R&D投入增加均有助于该行业技术效率的提高。