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为了提高OLED有机蒸镀过程的稳定性,设计引入4种滤波参数对设备及环境噪音形成的信号干扰进行消除或降低,并通过DOE实验,分析引入的4种滤波参数对蒸镀稳定性的影响并找到滤波参数的最佳组合,将结果应用到实际生产后稳定性及良率得到显著提升.
提高OLED蒸镀稳定性的滤波参数及其优化设计
【摘 要】
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为了提高OLED有机蒸镀过程的稳定性,设计引入4种滤波参数对设备及环境噪音形成的信号干扰进行消除或降低,并通过DOE实验,分析引入的4种滤波参数对蒸镀稳定性的影响并找到滤波
【机 构】
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成都京东方光电科技有限公司
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2020年10期
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