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使用机械-化学抛光法加工大尺寸单晶硅可获超光滑表面．但很难保证良好的面型。提出通过采用开圆孔并连续注入抛光剂的方法来避免抛光盘中心蜂窝眼的出现，可以保证得到良好的面型。最后实验达到较好的面型精度，PV值0．268λ，rms值0．065λ。
大尺寸硅镜超光滑表面加工的面型控制
【摘 要】
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使用机械-化学抛光法加工大尺寸单晶硅可获超光滑表面．但很难保证良好的面型。提出通过采用开圆孔并连续注入抛光剂的方法来避免抛光盘中心蜂窝眼的出现，可以保证得到良好的面
【机 构】
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中国科学院大连化学物理研究所大连市110-7信箱大连116023
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2000年B11期
【基金项目】
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国家863化学激光领域资助课题! (86 3-4 10 -4 -9)
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