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火焰法沉积金刚石薄膜过程中碳在基底中的行为
火焰法沉积金刚石薄膜过程中碳在基底中的行为
来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianyi666
【摘 要】
:
采用火焰法在Mo基底上沉积金刚石薄膜,研究了在沉积过程中C在Mo基底中的行为,结果表明,在Mo基层上沉积金刚石时,碳原子与Mo反应形成Mo2C,随时间延长,Mo2C层加厚,C原子扩散进入基底的速率下降,之后C原子在
【作 者】
:
郭志猛
殷声
赖和怡
【机 构】
:
北京科技大学,北京科技大学粉末冶金教研室
【出 处】
:
材料研究学报
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
火焰法
沉积
金刚石薄模
扩散
碳
底层
combustion flame deposition diamond diffusion
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采用火焰法在Mo基底上沉积金刚石薄膜,研究了在沉积过程中C在Mo基底中的行为,结果表明,在Mo基层上沉积金刚石时,碳原子与Mo反应形成Mo2C,随时间延长,Mo2C层加厚,C原子扩散进入基底的速率下降,之后C原子在Mo2C层表面达到过饱和开始金刚石形核。
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