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有机金属沉积法生长HgCdTe双色晶膜材料的研究
有机金属沉积法生长HgCdTe双色晶膜材料的研究
来源 :红外与激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:CSgrr
【摘 要】
:
本文采用有机偶然性沉积法在CaAs衬底上先开展生长双色HgCdTe材料的研究,总结了生长CdTe缓冲层和隔离层x=0.2、x=0.3的HgCdTe晶膜工艺条件,总结出了HgCdTe双色材料的组分均匀性,厚度、表面形貌,结构和电性能。
【作 者】
:
陈记安
刘克岳
【机 构】
:
华北光电技术研究所
【出 处】
:
红外与激光技术
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
有机金属沉积法
HGCDTE
双色晶膜
红外探测器
MOCVD HgCdTe Double wave band crystal layer
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本文采用有机偶然性沉积法在CaAs衬底上先开展生长双色HgCdTe材料的研究,总结了生长CdTe缓冲层和隔离层x=0.2、x=0.3的HgCdTe晶膜工艺条件,总结出了HgCdTe双色材料的组分均匀性,厚度、表面形貌,结构和电性能。
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