有机金属沉积法生长HgCdTe双色晶膜材料的研究

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本文采用有机偶然性沉积法在CaAs衬底上先开展生长双色HgCdTe材料的研究,总结了生长CdTe缓冲层和隔离层x=0.2、x=0.3的HgCdTe晶膜工艺条件,总结出了HgCdTe双色材料的组分均匀性,厚度、表面形貌,结构和电性能。
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